万润股份获得发明专利授权：“一种用于ArF浸没式光刻胶顶层涂层的组合物及其制备方法”

证券之星消息，根据天眼查APP数据显示万润股份（002643）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于ArF浸没式光刻胶顶层涂层的组合物及其制备方法”，专利申请号为CN202111631540.6，授权日为2025年4月22日。

专利摘要：本发明涉及一种用于ArF浸没式光刻胶顶层涂层的组合物，所述的组合物包括聚合物I、聚合物II、光致产酸剂和电子级溶剂，所述的聚合物I和聚合物II结构式如下：a选自40‑70％，b选自1‑10％，c选自30‑60％；x选自1‑10％，y选自1‑10％，z选自80～95％；聚合物I和聚合物II的分子量选自1000‑30000Da，分子量分散系数选自1.0‑4.0。所述顶层涂层组合物具有较高的后退角，可减少光致产酸剂在浸没流体中的沥出。

今年以来万润股份新获得专利授权11个，较去年同期减少了21.43%。结合公司2024年中报财务数据，2024上半年公司在研发方面投入了2.12亿元，同比增33.31%。

数据来源：天眼查APP

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